ひびきの半導体アカデミー講座(2月度)

◆「文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業」一環講座◆
◆「ひびきの半導体アカデミー」『MEMS入門講座』ご案内◆

ひびきの半導体アカデミーは電気学会九州支部協賛で開催しております。

《今回は、2019年2月度開催講座のご案内です》


■ 開催講座: MEMS入門講座

■ 講師:
 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 教授 江刺 正喜 氏

■ 開催日時:2019年2月13日(水)10:00~17:30

■ 会場:北九州学術研究都市 産学連携センター 2F 研修室

■ 講座概要:
 半導体技術によってSiチップ上に回路だけでなくセンサやアクチュエー
タ構造などを集積化したMEMS (微小電気機械システム)は、ITをはじめい
ろいろなシステムの鍵を握る要素として用いられ、売り上げは13%/年の割
合で増大してきました。
 LSI上にウェハ状態でMEMSなどを転写する技術が、高密度・高性能MEMS
の異種要素集積化のため開発されてきました。これにはワイヤレス通信の
ためのLSI上のマルチフィルタやPZTMEMSスイッチ、安全な看護ロボットな
どのための触覚センサネットワーク、マスクレス電子線描画のためのアク
ティブマトリックスマルチ電子源、マルチバイオセンサのためのLSI上の
ダイアモンド電極アレイなどがあります。
 MEMSは多様で標準化しにくいため、低価格で効率の良い開発が求められ
ています。このため、組織の壁を越えて、設備や情報を共有する工夫につ
いても説明します。

■ 講座内容:
・第1部 MEMSの基礎・製作工程・要素
 1-1.マイクロマシーニングとMEMS
 1-2.MEMSの製作工程と設計評価
  1-2.1 パターニング
  1-2.2 エッチング
  1-2.3 堆積と応力制御
  1-2.4 接合
  1-2.5 表面マイクロマシーニングと集積化
  1-2.6 パッケージングと組立
  1-2.7 設計・評価
 1-3.MEMSの要素
  1-3.1 センサ
  1-3.2 アクチュエータ
  1-3.3 エネルギー源
・第2部 MEMSの応用
 2-1.自動車への応用
 2-2.ヘテロ集積化 (MEMSとLSIの融合)と次世代携帯機器
 2-3.センサネットワーク・高機能センサ
 2-4.光マイクロシステム
 2-5.バイオ・医療用マイクロシステム
 2-6.製造・検査装置
 2-7.高度化と有効活用への道
・質疑応答・名刺交換

■ 対象者:
・半導体・エレクトロニクス分野にかかわる企業の方、研究者・学生の方、
・ナノテクノロジープラットフォームをご利用の方、ご利用をご検討中の方、
・MEMSに関心のある方

■ 募集定員:50名(先着順)

■ 受講料・テキスト代:無料

■ 詳細・お申込み
 ものづくり革新センター FAIS微細加工PF HPよりお申込みください。
https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/news/archives/2018/1213_000000.html

■ 募集期間:2018年12月13日~2019年2月6日(定員になり次第〆切ます)

●ものづくり革新センター総合案内●
 http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/

●お問い合わせ●
 公益財団法人北九州産業学術推進機構(FAIS)
 ものづくり革新センター 担当:上野・冨田
 E-mail:http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/mailto.html
 Tel:093-695-3007