マグネティックス／マイクロマシン・センサシステム 合同研究会
〔委 員 長〕角野圭一（横浜国大）
〔幹 事〕石山和志（東北大)，斎藤 達（日 立)
〔幹事補佐〕竹村泰司（横浜国大)
〔委 員 長〕佐藤一雄（名 大)
〔副委員長〕安藤 繁（東 大)
〔幹 事〕式田光宏（名 大)
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大)，篠田裕之（東京農工大)
日 時 2月28日（水）9：00～14：25場 所 立命館大学理工学部 びわこ・くさつキャンパス・ローム記念館5階大会議室（〒525-8577 滋賀県草津市野路東1-1-1)
当日の連絡先は，立命館大学理工学部 杉山研究室 鳥山寿之
議 題 テーマ「マイクロ磁気デバイス」
MAG-01-13 シンクロトロン放射光によるPTFEのドライエッチングに及ぼす加工環境の影響
MSS-01-01
西 信嘉（立命館大)，加藤隆典（住友重機械工業)
上野 洋，杉山 進（立命館大)
MAG-01-14 SR光を用いた平面―断面転写法による三次元微細構造体の製作MSS-01-02
上野 洋，杉山 進（立命館大)
MAG-01-15 ポリシリコン振動型ジャイロスコープに用いる薄膜真空室の大気圧によるたわみの解析
MSS-01-03
土屋智由，船橋博文，坂田二郎（豊田中研)
MAG-01-16 感覚毛型マイクロ気流センサ
MSS-01-04
尾崎至弘，安田 隆，下山 勲（東 大)
MAG-01-17 マイクロ脱気デバイス
MSS-01-05
楊・ソマロン，前田龍太郎（機械技術研究所)
MAG-01-18 トリエチルアミンの熱分解による炭素磁性体の合成と物性評価
MSS-01-06
渡邉 潔，柿崎浩一，小林秀彦，平塚信之（埼玉大)
MAG-01-19 フェライトの低温作製法
MSS-01-07
山本節夫，栗巣普揮，松浦 満（山口大)
MAG-01-20 MMIC用（CoFeB)-(SiO2）高電気抵抗薄膜磁心の高周波透磁率特性
MSS-01-08
宗像 誠（崇城大EE研究所)，本山真潮（デルタワークス)
八木正昭（崇城大EE研究所)，島田 寛（東北大科研)
馬場 誠，山口正洋，荒井賢一（東北大通研)
MAG-01-21 2GHz, Q＝25を目指すサンドイッチ型RF集積化インダクタの試作
MSS-01-09
馬場 誠，山口正洋，荒井賢一（東北大通研)
MAG-01-22 磁気弾性効果を用いた歪みセンサのスマートアクチュエータへの応用
MSS-01-10
今村幸喜，石山和志，荒井賢一（東北大)
MAG-01-23 薄膜FGセンサを用いた残留磁気法による平面曲げ疲労評価
MSS-01-11
藤山陽一（島津製作所)，岡 茂八郎，薬師寺輝敏（大分高専)
槌田雄二，榎園正人（大分大)
＊14：35～引き続き日本伝熱学会主催「マイクロマシンと熱流体研究会」
〔委 員 長〕佐藤一雄（名 大)
〔副委員長〕安藤 繁（東 大)
〔幹 事〕式田光宏（名 大)
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大），篠田裕之（東京農工大)
日 時 3月16日（金）13：00～17：00
場 所 日本交通協会会議室（JR有楽町駅日比谷側 旧そごう裏 新国際ビル9階，TEL
03-3216-4081)
協 賛 圧電マイクロアクチュエータ調査専門委員会（委員長
熊田明生，幹事 富川義朗，高橋貞行，藤田博之，黒沢 実)
議 題 テーマ「トランスデューサ用圧電共振子」
開会挨拶「21世紀における圧電共振子の課題」圧電マイクロアクチュエータ調査専門委員会 委員長 熊田明生
MSS-01-12 圧電アクチュエータに関する1.2の考察
I 圧電アクチュエータの新たな展開を目指して
II FEMSimuration of Trident-Type Fork Resonator
Characterestics for application to L1-F2
Mode Piezoelectric Actuator
富川義朗，植田慶一（山形大），高野剛浩（東北工大)
MSS-01-13 大振幅励振時における圧電振動子損失の分離測定
広瀬精二，藤田孔明，浅水孝司（山形大)
MSS-01-14 大振幅共振下における圧電セラミックスの性質
高橋貞行，佐々木康弘（NEC），梅田幹雄（新潟職能短大)
中村健太郎，上羽貞行（東工大)
MSS-01-15 圧電セラミックスと発光ダイオードを用いた超音波音場の可視化
中村健太郎（東工大）嶋倉泰博，杉本恒美（桐蔭横浜大)
MSS-01-16 横効果圧電共振子の振動子定数
熊田明生（ピエゾ・テック)
〔委 員 長〕佐藤一雄（名 大)
〔副委員長〕安藤 繁（東 大)
〔幹 事〕式田光宏（名 大)
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大），篠田裕之（東京農工大)
日 時 11月21日（水）10：00～15：50
11月22日（木）10：00～15：50
議 題 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」
11月21日（水）10：00～12：00
座 長 安藤 繁（東 大)
MSS-01-17 インターネットを利用したホームセキュリティシステムの構築
高林克憲，冨士田成利，野村泰仁，天田裕一（鳥取大)，北野 弘（倉吉工高)，尾崎知幸，菅原一孔，小西亮介（鳥取大)
MSS-01-18 空間位相変調光源を用いた実時間レンジファインダ
五嶋健治，山本 仁，小野順貴，安藤 繁（東 大)
MSS-01-19 誘電ボロメータ型赤外線センサにおける画像表示システムの開発
村上修一，宮本哲雄（大阪府立産技総研)，野村哲男（立命館大)，小倉盛生（三洋電機)，岸原弘之（島津製作所)，井上幸二（大阪府立産技総研)，野田 実，奥山雅則（大阪大)
MSS-01-20 Integrated Signal Processing System
Based on Bucket Brigade Device for Micro-machined
Ultrasonic Sensor Array
莫 要武，田中恒久（大阪府立産技総研)，有田 滋（大阪府立産振機構)，土谷 明，井上幸二（大阪府立産技総研)，山下 馨（大阪大)，鈴木義彦（大阪府立産技総研)
MSS-01-21 Design of Array Type Gas Sensing
System with Low-Voltage Low-Power Emphasis
莫 要武，大川裕蔵，桜井芳昭，井上幸二，夏川一輝（大阪府立産技総研)
MSS-01-22 触媒化学発光を用いたマルチガスセンサシステム
中川益生，丸山貴章，寺門真吾，浪越幹司，遠藤淳平，宇都宮晃，山本 勲，岡林 徹（岡山理科大)
11月21日（水）13：20～14：20
座 長 安達 洋（室蘭工大)
MSS-01-23 SiC Schottky diode: test as gas
sensor
Shabbiy A. Khan (Saitama Univ.)，E.A. de.
Vasccncelos (Fedaral Univ. Brazil)，Hidekazu
Uchida, Teruaki Katsube (Saitama Univ.)
MSS-01-24 シリコン（111）の結晶異方性エッチングプロセスの観察
佐藤一雄（名 大），増田健宏（イビデン)，式田光宏（名 大)
MSS-01-25 Siエッチングにおけるディンプル発生メカニズムとその応用
川崎浩司，式田光宏，佐藤一雄（名 大)，石原康生，田中 浩（デンソー)
11月22日（木）10：00～12：00
座 長 式田光宏（名 大)
MSS-01-26 くし型電極を用いた新しい静電型リニアーアクチュエータ
川田博昭，熊谷道広，安田雅昭，村田顕二（大阪府立大)
MSS-01-27 静電吸着制御型インチワーム動作XYリニアアクチュエータ
澤井拓彦，植澤晴久，小西 聡（立命館大)
MSS-01-28 マイクロメカニカルラッチ機構に関する研究
永井浩太郎，吉藤健次，小西 聡（立命館大)
MSS-01-29 SMA/SiO2薄膜アクチュエータの出力特性
吉川 弥，加藤拓人，田畑 修（立命館大)，石田 章（物質・材料研究機構)
MSS-01-30 双探針型ナノ・マニピュレータの構築
平原清隆，橋本秀紀（東 大)
MSS-01-31 非対称電極型EHDマイクロポンプの高速化の試み
仲宗根崇，鈴木誠一（成蹊大)
11月22日（木）13：20～14：20
座 長 小西亮介（鳥取大)
MSS-01-32 画像処理を用いたオンチップ引張試験片の伸びひずみ測定
笠井 隆，安藤妙子，天野淳平，土屋智由，式田光宏，佐藤一雄（名 大)
MSS-01-33 オンチップ引張試験法による多結晶シリコン薄膜の機械的特性評価
天野淳平，安藤妙子，土屋智由，式田光宏，佐藤一雄（名 大)
MSS-01-34 コンデンサ型シリコンマイクロホンの機械特性
田島利文（NHK技研)，西口敏行，近藤 悟，斉藤信雄，千葉晋一，盛田 章，江刺正喜（東北大)
11月22日（木）14：30～15：50
座 長 小西亮介（鳥取大)
MSS-01-35 グレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術
鹿又 学，松本佳宣（慶応大)
MSS-01-36 血液ガス分析を目的としたBioMEMSの構築
田浦 巧，旭井亮一，鈴木博章（筑波大)
MSS-01-37 ワンチップ電気化学セルによる重金属イオンの分析
長岡真吾，旭井亮一，鈴木博章（筑波大)
MSS-01-38 微少電気化学的サンプリング機構とその応用
米山 玲，旭井亮一，鈴木博章（筑波大)