マイクロマシン・センサシステム研究会

〔幹　　事〕澤田廉士（NTT），前田龍太郎（産総研)

〔幹事補佐〕小西　聡（立命館大），式田光宏（名古屋大)

場　所　立命館大学びわこ草津キャンパスローム記念館5階大会議室（滋賀県草津市野路東1-1-1，会場へのアクセスはhttp://www.ritsumei.ac.jp/menu/access-map/index-j.htmを参照してください。)

共　催　電気学会　マイクロマシン集積チップ標準化協同研究委員会（委員長杉山　進，幹事池田恭一，庄子習一，前中一介)

　　　　立命館大学　マイクロシステム技術研究センター

議　題　テーマ「マイクロマシン一般」

MSS-02-1　粉末焼結法による微小TiN形状記憶合金構造体の製作

宮野公樹，多賀谷和範，川瀬和典，飴山　惠，杉山　進（立命館大)

MSS-02-2　LIGAプロセスによる連立撮像眼モジュール用隔壁の製作

浅田和彦，赤鹿久美子（大日本スクリーン製造)，川瀬和典，宮野公樹，杉山　進（立命館大)

MSS-02-3　ピエゾ抵抗型3軸加速度センサの開発

池内直樹，橋本浩幸，原田宗生，大麻隆彦（住友金属工業)

MSS-02-4　精密マニピュレーションのための多軸力覚量センサの製作と評価

西嶋洋一，Dao Viet Dzung，鳥山寿之，杉山　進（立命館大)

MSS-02-5　Effect of CO2 Dissolution on Anisotropy of TMAH

景　玉鵬，前中一介，井奥　淳，藤田孝之，高山洋一郎（姫路工大)

MSS-02-6　セルラオートマトンを用いたSi異方性エッチングシミュレーション

馬場教彰，垣永貴光，田畑　修，磯野吉正（立命館大)，Klaus Ehrmann，Jan Korvink（Freiburg大)

MSS-02-7　薄膜抵抗の最適設計とシリコンオプティカルベンチへの適用

明石照久，竹盛英昭，小泉俊晃（日　立)

MSS-02-8　ガス濃度分光分析のための波長可変型ファブリ・ペローフィルタ

鈴木健太郎，岸　直樹，野呂　誠，原　　仁，渡辺哲也，岩岡秀人（横河電機)

MSS-02-9　2D scanning micro mirrors with silicon based diaphragms actuated by double layered PZT

Tsaur Jiunnjye, Lulu Zhang，前田龍太郎（産総研)

MSS-02-10　高密度MEMS光スイッチアレイの設計と製作

MSS-02-11　ポリマー結晶の光誘起相転移を利用した高速な光アクチュエータ

池原　毅，島田　悟，松田宏雄，田中　誠（産総研)

MSS-02-12　Dielectric Polymer Actuator for MEMS Applications

Sunghwi Cho, Hyoukryeol Choi，前田龍太郎（産総研)

MSS-02-13　弾性表面波モータの微小移動特性の検討

重松隆史，黒沢　実，浅井勝彦（東工大）

〔幹事補佐〕小西　聡（立命館大)，篠田裕之（東　大)

場　所　日本交通協会第1会議室（東京都千代田区丸の内3-4-1，JR有楽町駅日比谷側，新国際ビル9F：旧そごう裏，Tel 03-3216-4081)

協　賛　ピエゾ・アクチュエータ調査専門委員会（委員長熊田明生，幹事富川義朗)

議　題　テーマ「セラミック圧電共振子の理論と応用」

MSS-02-14　圧電セラミックスの非線形定数

MSS-02-15　3却音さアームの縦1次―屈曲2次モードを利用したリニア・アクチュエータとその音さの振動特性の検討

植田慶一，富川義朗（山形大)，高野剛浩（東北工大)

MSS-02-16　ラジアル振動の高次共振を利用した圧電セラミックトランスの効率特性

遠藤　勉，広瀬精二，佐々木達徳（山形大)

MSS-02-17　非線形共振子のメカニカルスイッチング

MSS-02-18　横効果圧電共振子の振動子定数