ひびきの半導体アカデミー講座(2021年11月度開催講座)

2021/10/10

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム一環講座
◆ひびきの半導体アカデミー講座◆ご案内

ひびきの半導体アカデミーは電気学会九州支部協賛で開催しております。

●開催講座詳細●
■開催講座:『ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座』
 
■主催:公益財団法人北九州産業学術推進機構
    (文部科学省 微細加工プラットフォーム実施機関)
    (https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/)
 
■講師:戸津 健太郎 氏
 所属:東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター長・教授
                         
■開催日時:2021年11月17日(水)~19日(金)各日 9:00~17:00
 
■場所:北九州学術研究都市 共同研究開発センター

■講座概要:
ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの原理や加工プロセスの説明と装置操作体験により、
MEMSデバイスに対する理解を深めます。
また、センサを実装し、Wi-Fi無線モジュール、インターネットを介して
スマートフォン等でモニタリングできるようにします。
MEMS技術は、ロボット、IoT、AIなどのセンサに欠かせない重要な技術となっています。
企業や大学等の研究開発の振興、生産性向上、新たなアイデア・創作などに
つながれば幸いです。※圧力センサは事前に作製したものを使用します。

■講座日程:
[1日目] MEMSの構造・役割・仕組・工程フロー、前工程(フォトリソ、
    イオン注入、CVD、RIE、スパッタなど)装置操作体験
[2日目]ダイシング、ダイボンド、ワイヤボンド、プリント基板実装実地
    体験
[3日目]マイコンプログラミング、評価、まとめ、試作コインランドリや
    次期PJの紹介

■対象者:半導体・エレクトロニクス分野に関わる企業の方、研究者・学生
     ナノテクノロジープラットフォーム利用者

■募集定員:5名(先着順)
 
■受講料・テキスト代:無料
 
■詳細・お申込方法
http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/reserve/academy/detail.php?form=84

●自動車エレクトロニクスグループ総合案内●
 http://car-el.ksrp.or.jp/

●FAIS微細加工プラットフォーム●
 https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/

●お問い合わせ●
 公益財団法人北九州産業学術推進機構(FAIS)
 自動車エレクトロニクスグループ 担当:上野・冨田
 E-mail:http://car-el.ksrp.or.jp/contact/
 Tel:093-695-3685